| 本炉は、金属・セラミック材料の焼結及び焼鈍等に使用される、高真空及び高純度Ar雰囲気の高温電気炉です。チャンバ一内にタングステンメッシュヒータ－及びリフレクター・冷却層を設けて、ターボ分子ポンプ・油回転真空ポンプ・操作盤等の構成により、昇温、冷却等の自動運転が出来ます。 |
| パスボックスに装着されているシリンダーとゲートバルブを作動させる事により、パスボックスを介して品物の出し入れが可能となっております。したがって炉内雰囲気を壊すことなく作業ができるので、高真空への到達時間が短縮されます。 | |||
| ・ | 炉真空度：1.33×10-4pa（無負荷時） |
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| ・ | 温 度：Max1700℃ | ||
| ・ | 昇温速度：常温から1700℃まで100～120分以内 | ||
| ・ | 材 質：ヒーター タングステンメッシュヒーター 本体SUS-304 | ||
| ・ | 炉内有効寸法：100mmφ×150mmH | ||
| ・ | 冷却水：20リットル／min. at 25℃ 2kg/cm2 | ||
| ・ | 冷却時間：100℃まで120分以内 | ||
| ヒ一ター：20Vx30KW（ダウントランス使用） |
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| ターボ分子ポンプ：AC200VxO.48kVA | |||
粗引用真空ポンプ：AC200VxO.75kw |
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