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本装置は、グローブボックス内の不活性ガス及びボックス内から発生する、水分、酸素、有機溶媒、ダスト等を循環精製する装置です。酸素除去には、白金触媒により反応させ除去する方法と、還元銅触媒で反応させ除去する方法とがあります。水分は精製搭にて吸着除去します。触媒、吸着剤の再生には自動再生式と手動再生式があります。又、シングル型式と予備系統の付いたダブル型の装置が有り使用状況により選択できます。 |
| 精製ガスは、窒素、アルゴン、ヘリウム中の水分、酸素、C02、有機ガス |
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酸素値、水分値 100ppb~1.47ppb以下 | ||
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ダスト 0.3μ 99.97％除去 | ||
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循環精製風量 10～300Nm3/hr | ||
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材質 SUS－304 | ||
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オプション N2除去 | ||
| ppm=1×10-4（100万分の1）、ppb=1×10-7（10億分の1） |
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