可搬式高真空排気装置
装置に付帯された真空設備でなく必要な場所に移動できる真空排気装置となります。
局所の排気にも対応すべく、口径の異なる排気口を用意することで、密閉化されたセル構造に接続することも可能です。
可搬式高真空排気装置（ガス分析モニタ付き）
弊社グローブボックスと接続することで、
グローブボックス内に真空排気ラインを増設することが可能です。
また、弊社グローブボックスと接続することにより、チャンバー内圧力の低下による安全機構も追加可能。
真空下でのガス分析モニタも可能です。
小口径ラインを使用することで低真空状態のガスモニターへの対応も可能です。（手動操作）